Avantages

• Compatible avec différents types de chimie, acides, bases, solvants, slurry
• Distribution simultanée pour 3 équipements
• Débit et pression constant
• Compatible multi-conteneur
• Qualifié et utilisé par l'utilisateur final clé
• Fixe ou mobile sur roulettes

Avantages

• Ensemble en PP
• Plaques bleues en PVC

Fûts

• Plusieurs volumes disponibles
• Possibilité d'avoir plusieurs fûts mobiles

Sécurité

• Conforme aux normes CE, SEMI S2
• Alarme visuelle et audio verrouillée avec EMO
• Détecteur de fuite
• Interlock avec arrêt pompes et fermeture vannes
• Capteurs de sécurité
• Arrêt d'urgence
• Rétention par zone

Gestion chimique

• Pompe de transfert :type volumétrique
• Pompe de distribution : centrifuge Levitronix
• Système de recirculation et de filtration
  

Points forts

• Dessin modulaire
• Adaptable au cahier des charges
• Facilité d'installation, faible d'encombrement
• Compatible avec une grande variété de conteneur
• Enregistrement de recette automatique

Applications

• Semi-conducteur
• Capteur
• Médical
• Solaire
• Avionique
• Horlogerie
• Couches minces

Chimies

• HF, HNO3, HCL, H2O2, H2SO4, NH4F, NH3, H3PO4, TMAH,